中微公司发布用于MiniLED量产的MOCVD设备

中微半导体设备（上海）股份有限公司推出专为高性能MiniLED量产而设计的Prismo UniMaxTM MOCVD设备，该设备在帮助 LED 芯片制造商提高产能的同时能够有效地降低生产成本。

中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备已进入全球大多数领先的氮化镓基蓝绿光 LED 制造商，此次推出的Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 设备的最新产品，该设备在同一系统中可配备多达 4 个反应腔。Prismo UniMax 配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。该设备还具有其他一些新颖特征，如喷淋头的优化设计实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升产能并降低成本。Prismo UniMax MOCVD 设备专为高产量而设计，具有业内领先的加工容量；通过石墨盘晶片排布的最优化，其加工容量可以延伸到生长 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。

中微公司 Prismo UniMax MOCVD 设备已收到来自国内领先客户的订单。同时，中微公司正在与更多客户合作进行设备评估。Prismo UniMax 设备拓展了中微公司的MOCVD 设备产品线，亦为全球 LED 芯片制造商提供最新解决方案以应对 MiniLED 生产带来的挑战。MiniLED 具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势，能够显著提升显示品质，因此作为一种新兴技术备受关注。Prismo UniMax MOCVD 设备能够帮助客户在 MiniLED 生产过程中实现优异的波长均匀性和稳定性，这些指标也是 MiniLED 生产的制胜关键。

“Prismo UniMax 延续了中微公司现有 Prismo 平台的核心技术，是目前国内外极具创新性的 MOCVD 设备，为高性能的 MiniLED 生产提供高性价比的技术解决方案。”中微公司董事长兼总经理尹志尧博士说道，“我们很高兴看到公司开发的 Prismo UniMax 设备已开始被国内领先的 LED 客户所采用。产品不仅能满足严格的技术要求，还能帮助客户以更低的成本获得更高的产量。我们欣喜地看到 MOCVD 设备市场即将迎来一个新的高潮。我们期待与我们的客户和合作伙伴一同并肩努力，进一步推动MiniLED 技术和 MOCVD 设备市场的发展。